Konsistente Empfindlichkeit für optimale Kontaminationskontrolle
Der INFICON Transpector HPR vereinigt die Spitzenleistung eines Transpector RGA mit einer Kalibrierungsreferenz in einem automatisierten Instrument für die Werkzeugdiagnose und -überwachung. In Kombination mit den leistungsstarken Eigenschaften des INFICON FabGuard Sensor Integration and Analysis Systems ist das Transpector HPR in der Lage, sich selbst und das Werkzeug auf Prozessabweichungen und -fehler zu überwachen.
Allgemeine Anwendungen:
- Heliumleckerkennung bei unterschiedlichen Werkzeugmodulen
- Überwachung der Modulbedingungen für die vorbeugende Wartung
- Datenaufzeichnung nach der vorbeugenden Wartung
- Messung der Anstiegsgeschwindigkeit
- Überwachen von Hintergrundbedingungen
Features auf einen Blick:
- Verschiedene AMU-Massenbereiche mit einer Kombination aus Faraday-Becher und Elektronenvervielfacher
- Automatische EM-Verstärkerjustierung
- Dynamischer Bereich über neun Messdekaden
- Automatische Abstimmung von Massenposition und -auflösung
- Variable Verweildauer für herausragende Rauschabstände
- MDPP von 5E-15 Torr (100 AMU-Version)
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Transpector HPR Gas Analysis System
English
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Technical Information:
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Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
English
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