Residual Gas Analyzers (RGAs)
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Restgasanalysatoren (RGAs) von INFICON werden als Diagnosewerkzeug verwendet, damit Prozesstechniker einfacher kontinuierlich den Herstellungsprozess auf Gasverunreinigungen und das Vorhandensein des gewünschten Prozessgases überwachen können.
Transpector 2 Gas Analysis System
liefert genaue und zuverlässige Daten zur Vakuumprozessüberwachung, Prozessdiagnose und Leckerkennung bei der Halbleiterherstellung.
Transpector HPR Gas Analysis System
Ein RGA mit konsistenter Empfindlichkeit für optimale Verunreinigungskontrolle
Transpector XPR3 Gas Analysis System
PVD-Prozessüberwachung ohne komplexe Druckwandlung; dieser RGA überwacht PVD-Prozesse mit beispielloser Empfindlichkeit, Genauigkeit und Flexibilität.
Transpector CPM Compact Process Monitor
Umfassende, kostengünstige Gasanalyse; dieser RGA ist ein kompakter und kostengünstiger Gasanalysator mit sämtlichen Funktionen für die lokale Überwachung komplexer Prozesse.
Transpector Software
Software zur Prozesscharakterisierung für das Transpector-Gasanalysesystem
Mobiler Wagen für den Transpector CPM Compact Process Monitor
Als eigenständiges System arbeitender Wagen zur mobilen Problembehebung
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Transpector CPM Compact Process Monitor
Wirtschaftlicher Gasanalysator, ideal zur Überwachung von komplexen Prozessen.
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