Höhere Empfindlichkeit bei der Kontaminationskontrolle Das Transpector® Gas Analysis System ist ein RGA, der genaue und zuverlässige Daten für Vakuumprozessüberwachung, Prozessdiagnose und Leckerkennung bei der Halbleiterherstellung bereitstellt. Im Transpector 2 werden durch die erhöhte Wasserstoffempfindlichkeit Verunreinigungen auf Sub-ppm-Ebenen sichtbar, und eine um das Vierfache schnellere Abtastung gegenüber Signalen mit niedrigem Pegel sowie ein erweiterter dynamischen Bereich sorgen für zuverlässigere Daten bei niedrigeren feststellbaren Partialdrücken.
Features auf einen Blick
100-, 200- und 300-amu-Systeme mit Faraday-Becher oder einer Kombination aus Elektronenvervielfacher und Faraday-Becher
Verbesserte Wasserstofferkennung
Erhöhter Scheitelwert und Positionsstabilität
Eine bis zu 10-fache Verbesserung des Signal-Rausch-Abstands im Vergleich zum ursprünglichen Transpector
Schnellere Abtastung gegenüber Signalen mit niedrigem Pegel
Elektronischer dynamischer Bereich über neun Dekaden
Softwareoptionen für Systeme mit einer und mehreren Kammern
Partialdruckmessung von 1 X 10 -4 Torr bis 5 X 10 -15 Torr
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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Brochure - Transpector 2 Gas Analysis System English
Technical Information:
Technical Note - Benefits of RGA Degassing English
Technical Note - Calculating Partial Pressures English
Technical Note - Calculating Sensitivity for RGA Partial Pressures English
Technical Note - Choosing the Appropriate RGA English
Technical Note - Heating Jackets Can Improve RGA Performance English
Technical Note - Interpretation Guide - General RGA Spectrum English
Technical Note - New Digital Input/Output Board for Transpector Gas Analysis System Using TWare 32 English
Technical Note - Partial Pressures vs. Total Pressure for an Open Ion Source RGA English
Technical Note - Residual Gas Analyzers for Contamination Checking English
Technical Note - Residual Gas Analyzers for Leak Detection English
Technical Note - The Advantages of an RGA with Analog Outputs English
Technical Note - The Practical use of Residual Gas Analysis in a Semiconductor Thermal Processing Module English
Technical Note - Transpector 2 Improvements Lead to Better Process Monitoring English
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