Analizadores de gases residuales (RGA)
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Los ingenieros de procesos utilizan analizadores de gases residuales (RGA) de INFICON como herramientas de diagnóstico en el control continuo del proceso de fabricación para detectar la presencia de gases contaminantes y para verificar la presencia de los gases deseados en el proceso.
Sistema de análisis de gases Transpector 2
Sensibilidad superior para el control de la contaminación; este RGA ofrece datos fiables y precisos para el control del proceso de vacío, los diagnósticos fiables y la detección de fugas en la fabricación de semiconductores.
Sistema de análisis de gases Transpector HPR
Un RGA con sensibilidad constante para control óptimo de la contaminación
Sistema de análisis de gases Transpector XPR3
Seguimiento del proceso de PVD sin conversiones complejas de presión; este RGA realiza un seguimiento de los procesos de deposición física de vapor (PVD) con una sensibilidad, precisión y flexibilidad sin precedentes.
Monitor de procesos compacto Transpector
Análisis de gases asequible y completo; este RGA es un analizador de gases completo, compacto y económico, ideal para el seguimiento in situ de procesos complejos.
Software Transpector
Software de caracterización de procesos para el sistema de análisis de gases Transpector
Carro móvil para el monitor de procesos compacto Transpector
Carro autónomo para una resolución de problemas móvil
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Monitor de procesos compacto Transpector
El económico analizador de gases está diseñado especialmente para el seguimiento in situ de procesos complejos.
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