残留ガス分析器 (RGAs)、INFICON

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Products:

リーク感知機

残留ガス分析器

•	Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Quantus LP100 Gas Analyzer
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Transpector HPR Gas Analysis System
•	Transpector Software
•	Transpector XPR3 Gas Analysis System

真空バルブとガス注入システム

真空計

真空部品

統合プロセス監視

FabGuaradソフトウェア適応

FabGuardでRFセンシングテクノロジー

残留ガス分析計 (RGAs)

INFICONの残留ガス分析器（RGAｓ）は、汚染ガスの存在をつきとめ、希望のプロセスガスの存在を照合しながら製造プロセスを継続的に監視する、プロセスエンジニアのための支援診断ツールとして使用されます。

Transpector 2 ガス分析システム
優れた感度で汚染をコントロール。このRGAは半導体製造において真空プロセスの監視、プロセス診断、およびリーク検出の正確かつ信頼性の高いデータを提供します。

Transpector HPR ガス分析システム
安定した感度を備えたＲＧＡで最適な汚染コントロール

Transpector XPR3 ガス分析システム
複雑な圧力変換なしにPVDプロセス監視-このRGAは、前例のない感度と精度、および柔軟性で物理気相成長（PVD）プロセスを監視することができます。

Transpector CPM コンパクトプロセスモニター
総合的なガス分析がお手頃に。このRGAはフル機能を備えた、コンパクトでお手頃なガス分析器で、複雑なプロセスのin situ監視に理想的です。

Transpectorソフトウェア
Transpectorガス分析システムのプロセス特性評価ソフトウェア

Transpector CPM コンパクトプロセスモニタの可動型カート
モバイルトラブルシューティングのための内蔵型カート