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Transpector 2 ガス分析システム
優れた感度で汚染コントロール
Transpector® ガス分析システムは、半導体製造での真空プロセスの監視、プロセス診断、およびリーク検出において正確かつ信頼性の高いデータを提供する残留ガス分析器(RGA)です。Transpector 2ではより向上した水素感度がサブppmレベルでの汚染を把握し、低レベル信号で広範囲のダイナミックレンジを4倍の速さでスキャンできるため、低い検出分圧によって正確なデータを提供します。

特長一覧
  • ファラデーカップまたはファラデーカップ/ 電子増倍菅の組み合わせによる100-、200-、 300-amu のシステム
  • 向上した水素感知
  • 優れた ピーク振幅とポジションの安定性
  • オリジナルのTranspectorと比べるとＳＮ比が10倍改善
  • 低レベル信号でより速いスキャン
  • 9 decadeの電気ダイナミックレンジ
  • シングルとマルチチャンバーシステムのソフトウェアオプション
  • 1 X 10 -4^Torrから 5 X 10 ^-15 Torrまで分圧計測

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Brochure - Transpector 2 Gas Analysis System
English

Technical Information:

   Technical Note - Benefits of RGA Degassing
English

   Technical Note - Calculating Partial Pressures
English

   Technical Note - Calculating Sensitivity for RGA Partial Pressures
English

   Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
English

   Technical Note - Heating Jackets Can Improve RGA Performance
English

   Technical Note - Interpretation Guide - General RGA Spectrum
English

   Technical Note - New Digital Input/Output Board for Transpector Gas Analysis System Using TWare 32
English

   Technical Note - Partial Pressures vs. Total Pressure for an Open Ion Source RGA
English

   Technical Note - Residual Gas Analyzers for Contamination Checking
English

   Technical Note - Residual Gas Analyzers for Leak Detection
English

   Technical Note - The Advantages of an RGA with Analog Outputs
English

   Technical Note - The Practical use of Residual Gas Analysis in a Semiconductor Thermal Processing Module
English

   Technical Note - Transpector 2 Improvements Lead to Better Process Monitoring
English

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