Home
|
Product Index
|
Support
|
Library
|
Calendar
|
News
Semiconductor & Vacuum Coating Process
Customer Support
|
Technical Info
|
Calendar
|
Product News
>
Electron Beam Gun Crucible Indexer
>
FabGuard Suite
>
In Situ Particle Detectors
>
Integrated Process Monitoring
>
Leak Detectors
>
Quartz Monitor Crystals
>
RF Sensing Technology with FabGuard
>
Residual Gas Analyzers
>
Thin Film Deposition Controllers/QCM
>
Vacuum Components
>
Vacuum Gauges
>
Vacuum Valves and Gas Dosing Systems
質量ガス分析計
インフィコンのガス分析計は、診断ツールとして使用されています。これにより、プロセスエンジニアは、製造プロセスにおいて、汚染ガスが存在しないか、また必要なプロセスガスが存在するかを継続的にモニタリングすることができます。
PPM422プラズマプロセスモニタ
Transpector®ガス分析システムシリーズ
Transpector®ガス分析システムシリーズは、真空プロセスのモニタリング、プロセス診断、およびリーク検出において、正確かつ信頼性の高いデータを提供します。
Transpector 2ガス分析システム
コンタミネーションコントロールに、すぐれた感度を発揮します。半導体製造の現場において、真空プロセスのモニタリング、プロセス診断、およびリーク検出に対する正確かつ信頼性の高いデータを提供します。
Transpector CIS2ガス分析システム
すぐれた性能およびコントロール機能により、プロセス中圧力にてサブPPMのIn-Situガス分析を実現します。クローズドイオンソース（CIS）を利用して、サブPPMレベルで汚染を検出します。
Transpector HPRガス分析システム
校正用ガスボンベを備え、構成を容易にしたガス分析システム
Transpector XPR3ガス分析システム
複雑な差動排気の機構を必要とせず、ＰＶＤプロセス時のガス分析を実現しました。10ppMまでの分解を実現。またフィラメント保護用のピラニゲージを備えています。
Transpector CPMコンパクトプロセスモニタ
コンパクトな差動排気のついたオリフィスの切替を備え、広範囲なプロセス圧力に対応し、1ppMレベルを可能にしたガス分析計です。プロセス圧モニタ、インターロック用のキャパシタンスマノメータを備えています。
Transpectorソフトウェア
Transpectorガス分析システムのためのプロセス評価ソフトウェアです。
IPC400ポンピングパッケージ
2気圧までの圧力に対応した、シンプルで使い勝手の優れた、差動排気つきのガス分析計です。
Transpector CIS2およびIPC400システム用モバイルカート
工場、Fab内でのガス分析計、関連するＰＣ等の移動、設置と操作を容易にするモバイルカートです。
