安定した感度で最適な汚染コントロール
INFICONのTranspector HPR はTranspector RGA の高い性能と校正レファレンスを組み合わせた、装置診断と監視を自動で行う装置です。INFICONのTranspector HPRは、FabGuardセンサ統合分析システムのパワフルな性能と組合せ、プロセス中の不一致と欠陥をモニターしながら、装置自身をモニターする機能があります。
一般的な用途
- 多様な装置モジュールのヘリウムリークを検出
- 予防メンテナンス目的でモジュール状況を監視
- 予防メンテナンス後のデータ記録
- 計測上昇率
- 背景状況の監視
特長一覧:
- ファラデーカップ/電子増倍管の組合せで100AMUの質量範囲
- 自動EMゲイン調整
- 9 decadeのダイナミックレンジ
- 質量ポジションと解像度の自動調整
- 変動滞留時間でSN比を向上
- 5E-15トル（100AMUバージョン）のMDPP
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
 |
Brochure - Transpector HPR Gas Analysis System
English
|
Technical Information:
|
|
Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
English
|
|
|
