최적의 오염 통제를 위한 일관된 감도
INFICON Transpector HPR은 Transpector RGA의 고성능을 교정 기준과 결합하여 툴 진단 및 감시를 하는 자동 계측기 입니다. INFICON FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템의 강력한 기능과 결합된 Transpector HPR은 공정 중에 툴의 불일치나 결함을 감시할 뿐만 아니라 자체 감시 기능도 지니고 있습니다.
일반적인 응용분야:
- 다양한 툴 모듈의 헬륨 누출 검출
- 예방 정비를 위한 모듈 상태 감시
- 예방 정비 후 데이터 기록
- 상승률 측정
- 배경 조건 감시
특징 요약
- 컴비네이션 패러데이 컵/전자 증배관을 이용한 다양한 AMU 질량 범위
- 자동 EM 게인 조정
- 9 데케이드의 다이내믹 레인지
- 질량 포지션과 해상도의 자동 튜닝
- 가변 체류시간으로 신호 대 잡음비 우수
- 5E-15 Torr의 MDPP(100 AMU 버전)
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Transpector HPR Gas Analysis System
English
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Technical Information:
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Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
English
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