복잡한 압력 변환이 필요 없는 PVD 공정 감시
Transpector XPR3을 이용한 RGA 공정 감시는 오염 수준, 가스 방출 수준, 가스 순도 및 설비 작동에 대한 실시간 데이터를 제공할 수 있습니다. 이 정보를 이용하여 처리량과 생산량을 극대화하고, 문제 검출 및 진단으로 손실을 줄이며, 예방 정비 프로그램의 효율과 효과를 높여서 툴 가동시간을 늘릴 수 있습니다.
Transpector XPR3은 차세대 고압 4중극자 공정 가스 분석 기기입니다. 과거의 INFICON 시스템의 성공을 기반으로 하여 전례 없이 높은 감도, 정확도 및 유연성으로 물리적 증기 증착(PVD) 공정을 감시할 수 있습니다. 일련의 기술 혁신을 통해 복잡한 대형 압력 변환 장치가 없이도 소형 Transpector XPR3이 20 mTorr에서 초고진공까지 작동할 수 있습니다.
특징 요약
- 재설계된 이온 소스는 오염 누적을 최소화하여 수명을 늘리고 더 깨끗한 신호를 제공합니다.
- 신형 EM은 PVD 공정 압력에서 작동하여 더 빠르고 깨끗한 데이터 수집이 가능하며 FC에서 EM으로 전환이 필요 없으므로 데이터 해석이 더 쉬워졌습니다.
- 새 4중극자는 더 길어져서 낮은 질량 범위에서 여과가 개선되고 존재비 감도가 향상되어 수소 검출 감도가 더 좋아졌습니다.
Transpector XPR3의 응용분야:
- PVD process modules
- preclean modules
- non-cluster PVD tools
- clamped degas modules
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Transpector XPR3 Gas Analysis System
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Technical Information:
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Heating Jackets Can Improve RGA Performance
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Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
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Technical Note - The Optimization of Electron Energy for RGAs
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Transpector XPR3 Gas Analysis System - Best Known Methods
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