잔류 가스 분석기(RGA)

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누출 검출기

잔류 가스 분석기

•	Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Quantus LP100 Gas Analyzer
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Transpector HPR Gas Analysis System
•	Transpector Software
•	Transpector XPR3 Gas Analysis System

진공 게이지

진공 밸브 및 가스 주입 시스템

진공 컴포넌트

통합 공정 감시

FabGuard 통합 소프트웨어

FabGuard를 이용한 RF 감지 기술

잔류 가스 분석기(RGA)

INFICON 잔류 가스 분석기(RGA)는 오염 가스의 존재와 원하는 공정 가스의 존재를 확인하기 위해 제조 공정을 연속 감시하는 공정 엔지니어를 지원하는 진단 도구로 사용됩니다.

Transpector IPM 가스 분석 시스템
오염 통제를 위한 탁월한 감도; RGA는 반도체 제조 시 진공 공정 감시, 공정 진단 및 누출 검출을 위한 정확하고 신뢰할 수 있는 데이터를 제공합니다.

Transpector HPR 가스 분석 시스템
최적의 오염 통제를 위한 일관된 감도를 지닌 RGA

Transpector XPR3 가스 분석 시스템
복잡한 압력 변환이 필요 없는 PVD 공정 감시; 이 RGA는 전례 없이 높은 감도, 정확도 및 유연성으로 물리적 증기 증착(PVD) 공정을 감시합니다.

Transpector CPM 컴팩트 공정 모니터
알맞은 가격에 포괄적인 가스 분석; 이 RGA는 복잡한 반도체 공정의 현장 감시를 위한 완전한 기능을 갖춘 알맞은 가격의 소형 가스 분석기입니다.

Transpector 소프트웨어
Transpector 가스 분석 시스템용 공정 특성화 소프트웨어

Transpector CPM 컴팩트 공정 모니터용 모바일 카트
이동 문제해결을 위한 자급식 카트