합리적인 비용의 포괄적인 가스 분석 INFICON Transpector® CPM은 다음과 같은 기능으로 현장 조기 경보를 제공하고 비용을 낮춥니다.
가스 위상 반응 측정
진공 무결성 확인
미량 오염물질 식별
공정 및 배경 성분 측정
가스 순도 검증
INFICON CPM 컴팩트 공정 모니터는 복잡한 반도체 공정의 현장 감시를 위한 완전한 기능을 갖춘 알맞은 가격의 소형 가스 분석기입니다. 이 건조 펌프(dry-pumped) 시스템은 INFICON의 입증된 기술Transpector 2 가스 분석 시스템 을 사용하여 더 높은 수준의 성능을 달성합니다.
CPM 특징 요약:
복잡한 공정 감시를 위한 4중극자 가스 분석 시스템
연중무휴 감시로 생산량과 처리량 극대화 및 비용 최소화
소형 및 적당한 가격으로 모든 고압 진공 챔버에 설치 가능
성능을 극대화하는 HexBlock™ 샘플링 시스템
공정 압력 감시 및 진공 연동을 위한 내장 CDG
튜닝 및 가스 기준을 위한 옵션 교정 기준 제공
수명이 긴 폐쇄형 이온 소스로 대부분의 부식성 및 반응성 가스에 저항하면서 ppm 이하 수준의 오염물질 검출이 가능합니다.
무게가 가볍고 쉽게 운반 가능
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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Brochure - Transpector CPM Compact Process Monitor English
Technical Information:
Application Note - Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas English
Technical Note - Choosing the Appropriate RGA English
Technical Note - Etch Process Monitoring with the Transpector Residual Gas Analyzer English
Technical Note - Gas Purge and CPM Sensor Lifetime English
Technical Note - Heating Jackets Can Improve RGA Performance English
Technical Note - The Optimization of Electron Energy for RGAs English
Technical Note - The Use of Quadrupole Mass Spectrometry to Detect Sub-PPM Level Contaminants in Gas-Phase Samples and Processes English
Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference English
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