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!! 殘餘氣體分析器!!
INFICON 殘餘氣體分析器作爲診斷工具,幫助過程工程師連續監控製造過程所産生的污染氣體,幷檢驗目標過程氣體的含量。
PPM422 等離子過程監控器
Transpector® 氣體分析系統系列儀器:
Transpector® 氣體分析系統系列儀器爲真空過程監控、過程診斷和泄漏檢測提供精確而可靠的數據。
Transpector 2 氣體分析系統
對污染控制具有超高靈敏度,爲半導體製造業的真空過程監控、過程診斷和泄漏檢測提供精確和可靠的數據。
Transpector CIS2 氣體分析系統
具有高級性能與控制功能的 Sub-PPM 現場氣體分析,使用封閉的離子源 (CIS) 檢測污染,檢出下限可達 PPM量級。
Transpector HPR 氣體分析系統
實現最佳污染控制的穩定靈敏性
Transpector XPR3 氣體分析系統
無需複雜壓力轉換的 PVD 壓力過程監控,以空前的靈敏度、準確性和靈活性監控物理氣相沉積 (PVD)過程。
Transpector CPM 緊凑型過程監控器
經濟型綜合氣體分析,非常適用于現場複雜過程監控的功能全、緊凑和經濟的氣體分析器。
Transpector 軟件
用于 Transpector 氣體分析系統的過程特性描述軟件
IPC400 泵組
設計可擴大取樣範圍的易用泵組。
Transpector CIS2 和 IPC400 系統的移動車
移動排除故障的自帶車