用于 Transpector CPM 紧凑型过程监控器的手推车

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Products:

带有 FabGuard 的射频传感技术

检漏仪

残余气体分析仪

•	Mobile Cart for Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Quantus LP100 Gas Analyzer
•	Transpector 2 Gas Analysis System
•	Transpector CPM Compact Process Monitor
•	Transpector HPR Gas Analysis System
•	Transpector Software
•	Transpector XPR3 Gas Analysis System

真空元件

真空计

真空阀和气体计量系统

集成式过程监控

FabGuard 软件套件

用于 Transpector CPM（紧凑型过程监控器）的手推车

移动排除故障的自带车

INFICON 手推车使得 Transpector CPM（紧凑型过程监控器）成为一款可移动的故障诊断仪器。自带车使系统可以在工具之间搬运，它还具有可调节至各种工具高度的灵活性。机械臂机制使采样系统能够弯曲、旋转和垂直移动，这些优势使这款手推车成为狭小生产空间的理想选择。

功能概览

灵活性 – 可以通过水平或垂直移动 CPM，使 Transpector CPM 靠近工具或真空系统，还能够旋转系统。
精致小巧 – 手推车的开放式结构及其“肘”形支架臂使得 RGA 能够与工具紧密耦合，而无需占用宝贵的地面空间。
完善的系统 – 手推车能够搬运或支持 Transpector CPM 系统及台式或笔记本电脑。它还有一个用于压缩空气、氮气、废气并为 CPM 系统提供动力的连接板。
提供 120 V 和 230 VAC 型号。