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一致的灵敏性实现最佳污染控制
INFICON Transpector HPR 结合了 Transpector RGA 的高性能与校准基准，成为一种适用于工具诊断和监控的自动化仪器。 通过与 INFICON FabGuard 传感器集成与分析系统 的强大功能相结合，Transpector HPR 具备自我监控以及在过程中监控工具是否存在误差或缺陷的功能。
一般应用：
- 各种工具模块的氦气泄漏检测
- 适用于预防性维护用途的模块状况监控
- 完成预防性维护之后记录数据
- 增长率测量
- 背景状况监控
功能概览：
- 多个 AMU 质量范围，带组合型法拉第杯/电子倍增器
- 自动 EM 增益调整
- 九个数量级的动态量程
- 自动调整质量位置和分辨率
- 可变停留时间，具有优良的信噪比
- 5E-15 Torr 的 MDPP（100 AMU 型号）
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Brochure - Transpector HPR Gas Analysis System
English
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技术资料:
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Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
English
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