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!!残余气体分析仪 (RGA) !!
INFICON 残余气体分析仪 (RGA) 作为诊断工具，帮助过程工程师连续监控制造过程所产生的污染气体，并检验目标过程气体的含量。

Transpector 2 气体分析系统
高灵敏性改善污染控制；这款 RGA 在半导体制造业中，为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。

Transpector HPR 气体分析系统
RGA 利用一致的灵敏性实现最佳污染控制

Transpector XPR3 气体分析系统
无需复杂压力转换的 PVD 压力过程监控；以空前的灵敏度、精确性和灵活性监控物理气相沉积 (PVD) 过程。

Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型综合气体分析，非常适用于现场复杂过程监控的功能全、紧凑和经济的气体分析器。

Transpector 软件
用于 Transpector 气体分析系统的过程特性化软件

用于 Transpector CPM 紧凑型过程监控器的手推车
移动排除故障的自带车

 

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Transpector XPR3 气体分析系统 - 无需复杂压力转换的 PVD 过程监控




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Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型气体分析仪，非常适合//现场//监控复杂过程。

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