INFICON 残余气体分析器


Home \| Product Index \| Support \| Library \| Calendar \| News

Semiconductor & Vacuum Coating Process

Customer Support | Technical Info | Calendar | Product News

>	Electron Beam Gun Crucible Indexer
>	FabGuard Suite
>	In Situ Particle Detectors
>	Integrated Process Monitoring
>	Leak Detectors
>	Quartz Monitor Crystals
>	RF Sensing Technology with FabGuard
>	Residual Gas Analyzers
>	Thin Film Deposition Controllers/QCM
>	Vacuum Components
>	Vacuum Gauges
>	Vacuum Valves and Gas Dosing Systems

残余气体分析器

INFICON 残余气体分析器作为诊断工具，帮助过程工程师连续监控制造过程所产生的污染气体，并检验目标过程气体的含量。

PPM422 等离子过程监控器

Transpector® 气体分析系统系列仪器：

Transpector® 气体分析系统系列仪器为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。

Transpector 2 气体分析系统

对污染控制具有超高灵敏度，为半导体制造业的真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确和可靠的数据。

Transpector CIS2 气体分析系统

具有高级性能与控制功能的 Sub-PPM 现场气体分析，使用封闭的离子源 (CIS) 检测污染，检出下限可达 PPM量级。

Transpector HPR 气体分析系统

实现最佳污染控制的稳定灵敏性

Transpector XPR3 气体分析系统

无需复杂压力转换的 PVD 压力过程监控，以空前的灵敏度、准确性和灵活性监控物理气相沉积 (PVD)过程。

Transpector CPM 紧凑型过程监控器

经济型综合气体分析，非常适用于现场复杂过程监控的功能全、紧凑和经济的气体分析器。

Transpector 软件

用于 Transpector 气体分析系统的过程特性描述软件

IPC400 泵组

设计可扩大取样范围的易用泵组。

Transpector CIS2 和 IPC400 系统的移动车

移动排除故障的自带车